Fatiga en sistemas micro-electro mecánicos (MEMS) capacitivos

Abstract

Los sistemas micro-electro mecánicos (MEMS) han sido investigados y aplicados en varias áreas de aplicación tecnológica. Hoy en día la producción de (MEMS) constituye una de las ramas de la industria de más rápido crecimiento. Las aplicaciones de los MEMS en telecomunicaciones e instrumentación han atraído la atención en los últimos años principalmente por utilizar los procesos ya conocidos de fabricación de semiconductores. Un microsistema usual, capaz de actuar como sensor capacitivo, es el llamado ‘comb-drive’. El campo de aplicación de estos dispositivos se está incrementando continuamente. Ya son parte esencial en sistemas críticos de seguridad, como por ejemplo, la industria automotriz o la aeronáutica, por tanto, estudiar la vida útil de los MEMS es de gran interés. En este trabajo se detalla una técnica posible que puede ser utilizada para medir el avance de la fatiga en un MEMS capacitivo tipo ‘comb drive’.